파워 반도체용 장치 솔루션
【이송 장치 시리즈】

반도체는 우리의 풍요로운 생활에 없어서는 안 될 존재가 되었습니다. 이에 더해 에너지 절약 및 탈탄소 사회에서도 큰 역할을 하고 있습니다. 지금까지 반도체의 재료로는 주로 실리콘이 사용되어 왔지만, 최근에는 보다 에너지 효율이 좋은 화합물 반도체의 가공 기술이 발전함에 따라 특히 파워 반도체 분야의 성장이 기대되고 있습니다.

당사는 지금까지 실리콘 웨이퍼의 이송 및 레이저 가공 기술을 활용하여 차세대 SiC(탄화규소) 및 GaN(질화갈륨) 소재를 비롯한 화합물 반도체용 이송 솔루션을 제안해 왔으며, 특히 파워 반도체 시장에 적극적으로 접근하고 있습니다. 당사는 에너지 절약(전기자동차, 전력 제어)을 위한 반도체 제조 장치에 종합 솔루션 제공 체제를 구축하고 있습니다.

이산화탄소(CO2) 등 온실가스 배출량을 실질적으로 제로로 만드는 ‘탄소중립’을 목표로 하는 흐름이 세계적으로 강해지면서, 자동차 제조업체들이 주행 중 CO2를 배출하지 않는 EV(전기자동차) 생산에 힘을 쏟고 있으며, 이는 왕성한 파워 반도체 수요로 이어지고 있습니다. 앞으로도 전기자동차·전장 분야 및 재생 가능 에너지 제품의 보급이 기대되고 있습니다. 특히 아시아·북미·유럽 시장은 수요지로서도 확대될 것이며, 전 세계 파워 반도체 제조업체들의 부상이 주목받고 있습니다.

위 시장 규모 확대에 따라 각 반도체 제조업체들도 설비 투자를 적극적으로 진행하고 있습니다. 반도체 제조 공정에 없어서는 안 되는 로봇·이송 장치(이송 장치 또는 이재 장치, EFEM, SORTER)·자동 박리 세정 장치를 제조하는 당사에서도 왕성한 수요에 대응하기 위해 제조 거점 확대·인재 확보·북미 신규 시장 개척에 힘쓰고 있습니다.

FOUP 오프너 1대 (표준)
카세트 이송 장치 (카세트 체인저)
웨이퍼 이재기
(이재 장치, 이송 장치)
FOUP 오프너 2대 (병렬)
클린 로봇 (1축)

*「실리콘 웨이퍼」는 고순도의 실리콘(Silicon)으로 만들어진 웨이퍼입니다. 실리콘 웨이퍼는 실리콘 잉곳(Ingot)을 약 1mm 두께로 절단하여 제작됩니다. 실리콘 웨이퍼는 주로 집적회로(IC 또는 LSI) 제조에 사용됩니다. 실리콘 웨이퍼는 반도체 제품의 기판으로 널리 사용되며, 반도체 제품이 사용되는 대표적인 사례는 다음과 같습니다: 스마트폰, 개인 컴퓨터 및 5G 관련 정보통신 장비 분야; 자동차, 전자 장비 및 항공기 등 이동 장비의 제어 부분; 인공지능(AI) 및 로봇 내부; 태양광 전지 등.

*「화합물 반도체」는 현재 가장 널리 사용되는 실리콘 반도체(Si)와는 달리, 실리콘 반도체가 단일 원소로 구성된 반도체(단결정 반도체)인 반면, 화합물 반도체는 두 가지 이상의 원소를 재료로 하는 반도체입니다. 화합물 반도체의 종류에는 SiC(실리콘 카바이드), GaN(질화 갈륨), InP(인듐 포스파이드), GaAs(갈륨 아세나이드) 등 다양한 조합이 포함되며, 기능적 측면에서도 차이가 있습니다.

*「전력 반도체」는 전력을 제어하거나 공급하는 데 사용되는 반도체로, 예를 들어 교류를 직류로 변환하거나 전압을 낮추는 등 다양한 용도로 사용됩니다. 전력 반도체는 전기차, 발전 설비, 철도 차량 및 가전 제품 등에 주로 사용됩니다. 특히 전기차의 인버터(직류를 교류로 변환하는 장치) 제품에서 대량으로 사용되고 있습니다.