三軸潔淨機器人

型號

PHT-R-3

可搬重量

3kg（手臂基座、手臂及工件的總重量）

安裝環境

無塵室內
大氣溫度10℃～35℃　濕度70％RH以下

手臂

單手臂
材質：鋁合金、CFRP（碳纖維強化塑膠）、陶瓷

動作範圍

X軸：500mm
θ軸：340°
Z軸：300mm
手臂旋轉：0～180°

動作速度（最快）

X軸：500mm/sec
θ軸：200°/sec
Z軸：250mm/sec
手臂旋轉：180°/sec

機器人型號

PHT-R-3-2024

控制電纜

3m（標準）・5m・10m

晶圓保持方式

真空吸附・邊緣夾持・邊緣固定

機械結構形式

水平多關節型　圓柱座標系

控制軸

3軸

驅動源

伸縮・旋轉・上下　3軸 AC伺服驅動

馬達類型

AC伺服馬達　絕對編碼器規格

搬運手臂

CFRP+PEEK 晶圓嵌入式方式

映射

光電式穿透型感測器

重複精度

±0.1mm 以下

重量

本體重量：約47Kg
控制器：約8Kg

潔淨度

ISO 等級2（0.1μm以上　10個/ｍ³以下）

控制規格（1）

平行介面
輸入32點　輸出32點

控制規格（2）

串列介面
RS－232C × 1通道

設備需求

額定電壓：單相 AC200～230V ± 10%
額定電流：5A
真空：-80kPa以下　10NL/min以上

搬運物

～300mm晶圓
其他特殊工件、形狀、材質亦可彈性客製化處理

控制器規格

控制器型號

MFD

介面

RS232C 1通道 數位IO
輸入：32點・DC24V 8mA
輸出：32點・DC24V ± 3V 0.1A以下