製品情報

EFEM・分拣机 P-EFEM

搭載高性能AC伺服馬達，以充裕的可搬重量實現高速搬送。機器人、載入端口以及手臂均可進行最佳化配置。延續在嚴苛環境中運行超過20年以上的機器人技術。

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裝置規格

搬送對象
300mm晶圓
直徑：Ø300 ± 0.2mm　厚度：775μm
載具
300mm FOUP 25層（SEMI E47.1）
300mm FOSB 25層（SEMI M31）
電源電壓
單相 AC200V±10% 50/60Hz±5%
耗電量
4kVA（20A/200VAC）包含FFU
真空（原壓）
-80kPa～-90kPa
正壓（原壓）
0.6MPa～0.7MPa
EMO接點輸出
2系統（乾接點）
連鎖保護（Interlock）
輸入8點/輸出8點（絕緣I/O）

比較

TYK2102-2
TYK2102-3
埠數
2埠
埠數
3埠
真空（流量）
40L/min
真空（流量）
50L/min
正壓（流量）
20L/min
正壓（流量）
30L/min

裝置特長

  • 可搭載1台或2台校準儀，具備高吞吐量
  • 多樣化的選項，支持客製化需求
  • 可兼容200mm/300mm