產品資訊

晶圓盒更換器 PCT2022

本裝置是將收納於指定卡匣中的200mm及300mm用切割框替換至標準卡匣的系統。
所使用的卡匣為6片入卡匣及13片入卡匣。各卡匣由作業人員供應至工作台。

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裝置規格

切割框
尺寸
200mm・300mm
厚度
1.22 ± 0.08mm
翹曲
0.25 mm以下
可接觸範圍
背面
載具
標準卡匣
6片入卡匣・13片入卡匣
框架收納間距
15mm
處理速度
節拍時間・搬送時間
180秒／13片以下