玻璃基板用潔淨機器人

型號

PHT2200

可搬重量

10kg（手臂基座、手臂及工件重量總合）

手臂

單手臂
材質：鋁、CFRP、陶瓷

安裝環境

無塵室內
大氣中溫度10℃～35℃　濕度70%RH以下

動作範圍

X軸：1050mm
θ軸：340°
Z軸：400mm

動作速度（最高速度）

X軸：500mm/sec
θ軸：200°/sec
Z軸：250mm/sec

機器人型號

PHT-R-3-2200

控制電纜

3m（標準）・5m・10m

玻璃基板固定方式

真空吸附・邊緣夾持・邊緣支撐

機械結構形式

水平多關節型　圓柱座標系

控制軸

3軸

驅動來源

伸縮・旋轉・上下　3軸 AC伺服驅動

馬達類型

AC伺服馬達　絕對型編碼器規格

搬運手臂

CFRP+PEEK 玻璃基板嵌入式固定方式

映射方式

光電式 透過型感測器

被搬運物

〜⬜︎600mm
此外，也能靈活客製化對應特殊工件、形狀及材質

重量

本體重量：約47Kg
控制器：約8Kg

控制規格（1）

平行介面
輸入32點　輸出32點

控制規格（2）

串行介面
RS－232C × 1通道

重複精度

±0.1mm 以下

潔淨度

ISO 等級2（0.1μm以上　10個/ｍ³以下）

公用系統

額定電壓：單相 AC200～230V ± 10%
額定電流：5A
真空：-80kPa以下　10NL/min以上

控制器規格

控制器型號

MFD

介面

RS232C 1通道 數位IO
輸入：32點・DC24V 8mA
輸出：32點・DC24V ± 3V 0.1A以下