產品手冊

PDF (628KB)

四軸潔淨機器人
PHT-R-4
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PDF (537KB)

三軸潔淨機器人
PHT-R-3
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PDF (584KB)

玻璃基板用潔淨機器人
PHT2200
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PDF (564KB)

晶圓盒更換器
PCT2022
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PDF (1,101KB)

晶圓搬送裝置
PWT2020
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PDF (1,091KB)

12″對應 單片式
石英玻璃晶圓移載裝置
PGT2020
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PDF (748KB)

EFEM・分拣机
P-EFEM
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PDF (1,155KB)

晶圓自動剝離裝置
PWD2020
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PDF (1,899KB)

晶圓批次式自動洗淨裝置
SCC-250
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PDF (650KB)

載板接收與洗淨裝置
PWG-2501
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